(三)智能制造裝備

智能儀表與控制系統方面，重點發展高端儀器儀表、面向應用的自動化控制系統、自動化基礎產品，主要領域達到國內領先、國際先進水平，成為國內高端儀器儀表及控制系統研發、制造、檢測、認證、服務的重要基地。

工業機器人和服務機器人方面，重點發展搬運碼垛、拾揀、包裝、焊接、裝配、噴涂等工業機器人及機器人系統，應用于特殊環境下的安防、排爆、環保機器人，應用于民生的助老助殘機器人、仿人型機械臂，以及電機、驅動器、控制器、傳感器、網絡控制系統等機器人核心部件。

高檔數控機床與基礎制造裝備方面，做大產業規模，做強特色，保持高檔數控磨床優勢，聚焦汽車、航空航天、核電、船舶和鋼鐵等行業，發展專機類、重型數控機床類、加工中心類、復合機床等高端大型機床，以及基于先進數控加工設備的自動化生產線、數字化工廠，打造國內領先的高端機床研發制造基地。

微電子及光電子裝備方面，繼續積極爭取國家科技重大專項支持，促進產業鏈上下游的配套布局和示范應用，形成高端微電子及光電子裝備重點設備研制和產業化基地。支持高端光刻機、刻蝕機、鍍銅、光學檢測、清洗、MOCVD等設備研制和產業化，技術達到國際先進、國內領先。

關鍵基礎零部件方面，重點發展精密傳動裝置、伺服控制機構、液氣密元件及系統、關鍵泵、機、閥、模具等;大型鑄鍛件重點圍繞核電、船用曲軸、大型火電及核電常規島、冶金軋鋼設備、大飛機等大型鑄鍛件開展關鍵技術攻關，形成一批標準和完整的工藝技術。

專欄3：智能制造裝備

發展目標

到2015年，智能儀表與控制系統成為國內高端儀器儀表及控制系統研發、制造、檢測、認證、服務的重要基地，實現產值300億元。光電子與微電子裝備技術達到國際先進、國內領先，實現產值50億元。機器人實現產值200億元。高檔數控機床與基礎制造裝備實現總產值100億元，成為國內五軸聯動數控機床、高檔數控磨床等領域重要的技術創新和高端制造基地;關鍵基礎零部件件實現重要突破，產值150億元。

發展重點

1.智能儀表與控制系統

(1)新型傳感器及其系統：新原理、新材料、微型化、智能化、低功耗、集成化、無線等特點的傳感器。

(2)智能控制系統：現場總線分散性控制系統FCS、高端PLC、裝備嵌入式控制系統、功能安全監控系統等。

(3)智能儀表：智能溫度、壓力、流量等在線儀表、智能電動執行機構、智能閥門定位器、高可靠執行器等。

(4)精密儀器：在線質譜/激光氣體/紫外光譜/紫外熒光/近紅外光譜分析系統、高速自動化超聲無損探傷監測儀、特種環境蠕變疲勞檢測設備等。

2.機器人

(1)高性能、智能化工業機器人：弧焊和點焊機器人系統、搬運碼垛機器人、拾揀機器人等。

(2)應用于特殊環境下的機器人：排爆機器人、助老助殘機器人、仿人型機械臂、家居監控機器人等。

(3)機器人核心部件：電機總成、驅動器、控制器、傳感器、機器人智能系統和網絡控制系統。

3.高檔數控機床與基礎制造裝備

(1)五軸聯動數控機床及數控加工中心，專機類、重型類、加工中心類、復合類等高端大型數控機床。

(2)大型重載攪拌摩擦焊設備、超大型激光切割加工設備、航天航空專用數控加工裝備、智能化熱處理成套設備等。

(3)中高檔數控系統、數字化伺服驅動系統、主軸、絲杠、導軌、刀具等關鍵部件或系統。

4.微電子及光電子裝備

(1)集成電路制造關鍵工藝設備：先進工藝的等離子體介質刻蝕設備、封裝投影光刻機、刻蝕設備、清洗設備、集成電路工藝激光退火設備。

(2)LED制造關鍵工藝設備：應用于LED芯片制備的MOCVD設備，高亮度LED照明工藝投影光刻機。

(3)AMOLED新型顯示關鍵工藝設備：應用于下一代TFT-OLED顯示屏制造的投影光刻機，全自動激光鍵合封裝設備。

(4)集成電路關鍵裝備的關鍵技術和部件：高精度溫控器、5-10MHz大頻差高穩定度雙頻氦氖激光器與高精度激光干涉儀，精密減振器、超精密運動和傳輸系統、磁浮電機。

(5)高性能激光器件：用于制備多功能微納集成器件的激光三維微納加工系統、各類激光光源等。

5、關鍵基礎零部件

(1)精密傳動裝置：高速精密重載軸承，高速精密齒輪傳動裝置，高速精密鏈傳動裝置，高精度高可靠性制動裝置，諧波減速器，大型電液動力換檔變速器，高速、高剛度、大功率電主軸，直線電機、絲杠、導軌。

(2)伺服控制機構：高性能變頻調速裝置、數位伺服控制系統、網絡分布式伺服系統等產品。

(3)液氣密元件及系統：高壓大流量液壓元件和液壓系統、高轉速大功率液力偶合器調速裝置、智能潤滑系統、智能化閥島、智能定位氣動執行系統、高性能密封裝置。

(4)關鍵泵、機、閥、模具：為高端裝備提供關鍵配套且國內不能自主生產的高端閥門、泵、壓縮機、精密高檔模具等。

(5)核電、火電、冶金、船舶用大型鑄鍛件，飛機用高強度、耐磨、耐蝕鋁合金、鈦合金、鎳基合金鍛件。

重大技術創新平臺

推進工業過程自動化國家工程研究中心、上海集成電路研發中心、上海集成電路測試平臺、精密磨削技術重點實驗室和工具涂層技術重點實驗室建設。