截至2018年10月，我國共發(fā)布了有關(guān)潔凈室的國家標(biāo)準(zhǔn)29項(xiàng)。其中《潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》是總括性規(guī)范文件，《醫(yī)藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》、《醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范》和《食品工業(yè)潔凈用房建筑技術(shù)規(guī)范》分別對(duì)電子工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、手術(shù)室、食品工業(yè)做了更加細(xì)致的指導(dǎo)。

集成電路技術(shù)升級(jí)和產(chǎn)業(yè)投資帶來潔凈室工程新需求 

潔凈室主要應(yīng)用領(lǐng)域包括電子、制藥、生物工程、醫(yī)療衛(wèi)生、食品、實(shí)驗(yàn)室和軍工等行業(yè)。潔凈技術(shù)已廣泛應(yīng)用于各行各業(yè)或其他要求防止粒子污染、微生物污染的環(huán)境控制，由于各行業(yè)間差距較大，且要求不同，因此控制環(huán)境的內(nèi)容、指標(biāo)均不相同。最常見最依賴潔凈室為生物制藥生產(chǎn)潔凈室，食品，化妝品，電子廠，實(shí)驗(yàn)室，等等對(duì)環(huán)境有要求的地方。 

由于技術(shù)原因和制造工序的復(fù)雜程度高，集成電路制造是對(duì)潔凈度整體要求最高的行業(yè)。集成電路由于技術(shù)的復(fù)雜程度與日俱增，對(duì)于空氣潔凈度的要求也越來越高，核心工藝區(qū)需保持 1-4 級(jí)的潔凈度。而其他大部分行業(yè)比如食品制造，藥品，醫(yī)學(xué)等行業(yè)對(duì)潔凈度的要求大多在 5-9 級(jí)，遠(yuǎn)低于集成電路和新型顯示對(duì)潔凈度的要求。 

2016 年開始，在政策和資金的雙重推動(dòng)下，我國集成電路行業(yè)迎來投資的密集期。在集成電路產(chǎn)業(yè)基金、國家科技重大專項(xiàng)及地方基金等國家隊(duì)的帶動(dòng)下，集成電路產(chǎn)業(yè)投資開始爆發(fā)，比如存儲(chǔ)器市場，自 2015 年開始，我國存儲(chǔ)器產(chǎn)業(yè)市場從零起步，正逐漸形成紫光/長江存儲(chǔ)系、福建晉華以及合肥長鑫三足鼎立格局，紫光計(jì)劃將在十年內(nèi)成為全球前五大存儲(chǔ)器制造商。 

潔凈室工程是集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展最先受益的環(huán)節(jié)

潔凈室工程是集成電路制造環(huán)節(jié)中重要的一環(huán)，直接決定了最終產(chǎn)品的成敗?，F(xiàn)代集成電路制造工藝已經(jīng)達(dá)到 14 納米級(jí)別，未來幾年內(nèi) 7 納米工藝即將成熟，集成電路的制造過程一般為自動(dòng)化軟件把算法邏輯生成硬件電路開始，然后將集成電路設(shè)計(jì)版圖轉(zhuǎn)印到光刻板上，集成電路的基礎(chǔ)制造材料是硅片，硅片經(jīng)過各種表面處理后，與光刻板一起經(jīng)過包括光刻、熱處理、介質(zhì)沉積、化學(xué)機(jī)械研磨等工藝最終形成集成電路芯片。如果生產(chǎn)過程中潔凈程度達(dá)不到要求，產(chǎn)品良品率會(huì)受到很大影響，最終產(chǎn)品就會(huì)失敗。 

隨著技術(shù)的進(jìn)步，集成電路對(duì)潔凈度的要求越來越高。一般而言，當(dāng)微粒尺寸達(dá)到集成電路節(jié)點(diǎn)一半大小時(shí)就成為了破壞性微粒，對(duì)集成電路的制造產(chǎn)生影響。比如，14 納米工藝中 7 納米的微粒就會(huì)影響制造過程。隨著集成電路的工藝越來越高，目前 5 納米的工藝已經(jīng)開始研發(fā)，集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高，對(duì)于潔凈室工程的技術(shù)提出越來越高的要求。

潔凈室市場規(guī)模測算方法

通過對(duì)行業(yè)內(nèi)各個(gè)環(huán)節(jié)公司的微觀調(diào)研，大致得到了集成電路和新型顯示潔凈室工程各環(huán)節(jié)投資占項(xiàng)目總投資百分比。結(jié)合項(xiàng)目案例和調(diào)研數(shù)據(jù)，對(duì)于集成電路項(xiàng)目和新型顯示項(xiàng)目，一般來說，項(xiàng)目總投資中 70-80%投入到固定資產(chǎn)，固定資產(chǎn)中 20-30%投入到廠房建設(shè)中，廠房建設(shè)可以分為 3 個(gè)部分，工程設(shè)計(jì)、土建施工、潔凈室施工，其分別占的比例為 2-7%，30-40%，50-70%左右，潔凈室施工可以分為 6 個(gè)子系統(tǒng)，總體能分為潔凈系統(tǒng)和機(jī)電系統(tǒng)，分別占潔凈室工程的 50%，50%。  

根據(jù)中國電子學(xué)會(huì)預(yù)測，我國潔浄室工程行 業(yè)市場規(guī)模將由2015年的767.55億元増至2020年1，412.33億元，年均復(fù)合増 長率在12.97％左右。其中，2018年我國潔凈室工程行業(yè)市場規(guī)模増至1268.58 億元。